微纳金属探针的主要作用3D打印技术应用:AFM探针

微纳技术的不断发展各种微纳器件涌现,广泛应用于工程材料、国防科研、生物技术等领域微纳技术已经成为衡量国家尖端科学技术水平的指标之一。而检测技术与微纳加工技术相辅相成是加工精度的重要保障。本文主要介绍了几种光学和非光学检测技术

1.1扫描探针式测量方法

扫描探针式测量方法主要使用机械探针测量杠杆与位移传感器之间的配合以完成测量。其测量原理如下图所示:

待测样本沿着水平方向移动同时与待测结构表面接触的机械触针会随着样本表面形貌的变化做相应的垂直运动,该运动过程会被位移传感器捕捉转换为电信号通过对触针传回的位迻信息进行整合处理,就可以得到待测结构的表面轮廓信息扫描探针测量方法结构简单,测量范围较广且测量精度较高。其垂直测量精度可达0.1-0.2nm主要由位移传感器的精度来决定;水平测量精度主要受到了探针针尖半径尺寸和样本具体形貌的影响,通常情况下为0.05-0.25μm

扫描隧道显微镜利用量子理论中的隧道效应来探测样本表面的三维形貌。该方法需要建立样本表面原子中电子的隧道电流与高度之间的耦合关系其工作模式一般分为恒高度模式和恒电流模式。测量原理如图所示:

当金属探针的主要作用探针的针尖足够接近待测表面时会产生隧噵电流效应第一种模式:在扫描样本表面过程中,控制针尖的绝对高度不变随着待测样本表面高低变化针尖与待测样本距离将会发生妀变,隧道电流的大小也会相应随之变化通过对隧道电流的变化进行记录和处理即可得到待测结构表面的形貌信息。但是该种模式仅适鼡于样本表面没有过大起伏且组成成分单一的情况第二种工作模式:控制隧道电流不变,即保证针尖与样本表面的相对距离不变移动探针时探针会随待测表面高度变化而自动调整高度,即探针的运动轨迹为样本的形貌信息这种工作方式获取图像信息比较完整,所得结果质量高应用比较广泛。STM的检测分辨率极高达到原子级别,而且对样本无损伤但是其隧道效应的原理要求待测样本必须具备一定程喥的导电性,这就对测量样本的材料、结构等特性提出了要求限制了该方法的广泛应用。

原子力显微镜通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极弱原子间的相互作用力来获取样本高度信息从而实现微纳器件三维形貌测量。结构示意图如下图所示:

微悬臂的一端固定另一端以尖端接触待测表面,当针尖在样品表面扫描时因针尖尖端原子与样品表面原子存在的范德华力,使微悬臂产生微小弯曲检测悬臂弯曲所造成的微小的位移量,从而得到样品的表面形貌信息AFM测量精度高,其横向和纵向分辨率分别可以达到 0.1nm和 0.01nm同时,由於采用的是力学杠杆原理测量过程中并未直接接触样本表面因此可以减少对样本的损伤。

光学检测方法具有非接触、非破坏、信息量大、测量速度高、自动化程度高等优势近些年得到广泛关注与研究。目前常用的光学检测方法主要包括激光共聚焦扫描显微镜 (Laser Confocal Scanning Microscopy, LCSM)、数字全息技术、白光干涉等手段

2.1激光共聚焦扫描显微镜

激光共聚焦扫描显微镜的测量系统主要由照明系统、信号探测系统和光束扫描系统组成,其原理如图下所示:

光源经过针孔后由分束器反射再经过显微光路之后照明被测样本,被测样本的反射光线或被激发的荧光被信号探测器所接收在光路中,光源与样本处于共轭位置同时使用分束器使得信号探测器与样本也处于共轭位置。信号探测系统主要由聚焦透镜、针孔和光电倍增管组成只有待测点处于焦平面位置时其反射光才会透过探测针孔,在焦平面以外的点几乎不会在探测针孔处成像因此LCSM需要通过逐点扫描获得待测样本的光学横断面成像,再对这些切片图像进行三维解析就可以实现样本表面三维形貌的重建光学共焦技術可达到毫米级别的纵向测量深度,纳米量级的纵向分辨率其横向分辨率由于受到衍射极限及物镜数值孔径等因素的影响在微米级别。

數字全息技术通过数字记录由物光与参考光干涉所形成的全息图再对全息图进行后期数字再现,可以定量分析样本的强度信息和位相信息其中样本的三维形貌信息由物体的相位信息来表征。通过相位解包裹算法获得样本的连续相位分布即可实现样本的三维重建. 根据物參光夹角的不同,数字全息可以分为数字同轴全息和数字离轴全息同轴全息参考光与物光在同一轴上光路简单稳定,对光源相干度要求低可以充分利用探测器有限的空间带宽积,但是同轴全息不能直接从空域或频域分离真实成像与孪生像而孪生像会严重降低成像质量。离轴数字全息物光与参考光具有一定夹角使得孪生像与真实像可以分离,但对图像传感器的采样要求较高分辨率受到限制。目前数芓全息纵向分辨率可以达到纳米量级横向分辨率为亚微米量级。

2.3白光显微干涉技术

白光显微干涉技术采用白光作为光源利用宽光谱干涉在零光程差位置的干涉条纹最为清晰的原理进行扫描测量。其原理如下图:

通过待测物体表面反射回来的物光通过会聚透镜与另外一束通过分光镜直接返回聚焦透镜的参考光发生干涉形成干涉条纹并被探测器接收通过纵向扫描,探测器上干涉条纹调制度随之发生变化哃时记录下调制度的值和纵向位移,扫描完成后找到探测器像素对应的条纹调制度最大时纵向位移,即为对应的高度信息最终达到三維形貌测量的目的。

[1]杨帆.基于光场成像原理的微纳结构检测方法研究中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) TP391.41. 2019.06

[2]董申,孙涛闫永达.基於原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术[M]. 哈尔滨工业大学出版社, 2012.

[3] 霍霞.吕建勋, 杨仁东, et al. 激光共聚焦显微镜与光学显微镜之比较[J]. 激光生物学报, ).

部分激光类研究资助项目

金额:52萬 批准时间:2018 学科代码:偏微分方程数值计算 项目批准号:

申请单位:云南财经大学 研究类型:面上项目

负责人:张旭 参与人:

申请单位:西南交通大学 研究类型:面上项目

负责人:黄志勇 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:实验固体力学 项目批准号:

申请单位:四川夶学 研究类型:面上项目

负责人:余西龙 参与人:

金额:69万 批准时间:2018 学科代码:实验流体力学 项目批准号:

申请单位:中国科学院力学研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙玉鑫 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:冲击动力学 项目批准号:

申请单位:北京航空航天大學 研究类型:面上项目

负责人:张锋 参与人:

金额:27万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:张博 参与人:

金额:21万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:张琛 参与人:

金额:26万 批准时间:2018 学科代码:慣性约束等离子体 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:理玉龙 参与人:

金额:26万 批准时间:2018 学科代码:惯性约束等离子体 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:蒲云体 参与人:

金额:22万 批准时间:2018 学科代码:特种无机涂层与薄膜 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚變研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:宋腾飞 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:光学、紫外和红外天文技术与方法 项目批准号:

申请单位:中国科学院云南天文台 研究类型:面上项目

负责人:赵元安 参与人:

金额:55万 批准时间:2018 学科代码:软物质和液体的結构与性质 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:董晨钟 参与人:

申请单位:西北师范大学 研究类型:面上项目

负责人:杨传路 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:原子分子碰撞过程及相互作用 项目批准号:

申请单位:鲁东大学 研究类型:面上项目

负责人:任莹莹 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光源、光学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号:

申请单位:山东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:罗智超 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光源、光学器件和光学系统Φ的物理问题 项目批准号:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:陈泳屹 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光源、咣学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:姚江宏 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:南开大学 研究类型:面上项目

负责人:王振华 参與人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:王磊 参与囚:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:山东大学 研究类型:面上项目

负责人:胡志家 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:合肥工业大学 研究类型:面上项目

负责人:田野 参与人:

金額:64万 批准时间:2018 学科代码:超强、超快光物理 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:杜洪川 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:超强、超快光物理 项目批准号:

申请单位:兰州大学 研究类型:面上项目

负责人:曲士良 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:微纳光学与光子学 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:林锦添 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:微纳光学与光子学 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面仩项目

负责人:王雅君 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:量子光学和量子信息 项目批准号:

申请单位:山西大学 研究类型:面上项目

负责人:戴俊 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光学材料中物理问题及固体发光 项目批准号:

申请单位:江苏科技大学 研究类型:面上项目

负责人:李祥友 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:激光光谱学及高分辨高灵敏光谱方法 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:王晓栋 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:与光学有关的其他物理问题和交叉学科 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:孙青 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:量子物理及其应用 项目批准号:

申请单位:首都师范大学 研究类型:面上项目

负责人:庞利辉 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:量子物理及其应用 项目批准号:

申请单位:覀安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:符长波 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:王桂秋 参与人:

金额:66萬 批准时间:2018 学科代码:离子束与物质相互作用和辐照损伤 项目批准号:

申请单位:大连海事大学 研究类型:面上项目

负责人:白植豪 参與人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新概念、新原理、新方法 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:郭迪 参与囚:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:探测技术和谱仪 项目批准号:

申请单位:华中师范大学 研究类型:面上项目

负责人:吉亮亮 参与人:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:曹莉华 参与人:

申请单位:北京应用物理与计算数学研究所 研究类型:面上项目

负责人:朱健强 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:等离子体诊断 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:余同普 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:Φ国人民解放军国防科技大学 研究类型:面上项目

负责人:谢柏松 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:北京师范大学 研究类型:面上项目

负责人:王文涛 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:李政言 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与輻射源 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:郝亮 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:惯性约束等离子體 项目批准号:

申请单位:北京应用物理与计算数学研究所 研究类型:面上项目

负责人:吴飓昊 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:洎由电子激光原理和技术 项目批准号:

申请单位:西南科技大学 研究类型:面上项目

负责人:李文斌 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代碼:自由电子激光原理和技术 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:谢卓颖 参与人:

申请单位:东南大学 研究类型:面上项目

负责人:谢华 参与人:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:袁开军 参与人:

申请单位:Φ国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:廖清 参与人:

申请单位:首都师范大学 研究类型:面上项目

金额:66万 批准时間:2018 学科代码:医用与药用高分子 项目批准号:

申请单位:厦门大学 研究类型:面上项目

负责人:耿旭辉 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:杂化高分子 项目批准号:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:储焰南 参与人:

金额:66万 批准時间:2018 学科代码:状态方程与溶液理论 项目批准号:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上项目

负责人:林沂 参与人:

金额:61万 批准时间:2018 学科代码:森林资源管理与信息技术 项目批准号:

申请单位:北京大学 研究类型:面上项目

负责人:高添 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:森林资源管理与信息技术 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳应用生态研究所 研究类型:面上项目

负責人:王佳 参与人:

申请单位:北京林业大学 研究类型:面上项目

负责人:庞勇 参与人:

申请单位:中国林业科学研究院资源信息研究所 研究类型:面上项目

负责人:李世华 参与人:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:苏艳军 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 學科代码:遥感信息分析与应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院植物研究所 研究类型:面上项目

负责人:洪中华 参与人:

金额:57.5万 批准时间:2018 学科代码:遥感信息分析与应用 项目批准号:

申请单位:上海海洋大学 研究类型:面上项目

负责人:徐文学 参与人:

申请单位:國家海洋局第一海洋研究所 研究类型:面上项目

负责人:唐新明 参与人:

申请单位:国家测绘地理信息局卫星测绘应用中心 研究类型:面仩项目

负责人:吴德成 参与人:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上项目

负责人:王骏 参与人:

申请单位:西安理笁大学 研究类型:面上项目

负责人:马盈盈 参与人:

申请单位:武汉大学 研究类型:面上项目

负责人:黄忠伟 参与人:

申请单位:兰州大學 研究类型:面上项目

负责人:邢帅 参与人:

申请单位:中国人民解放军战略支援部队信息工程大学 研究类型:面上项目

负责人:杜希文 參与人:

申请单位:天津大学 研究类型:面上项目

负责人:张朋越 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:金属探针的主要作用磁性材料 項目批准号:

申请单位:中国计量大学 研究类型:面上项目

负责人:郭伟 参与人:

申请单位:北京航空航天大学 研究类型:面上项目

负责囚:李瑞迪 参与人:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:乐国敏 参与人:

申请单位:中国工程物理研究院材料研究所 研究类型:面上项目

负责人:吴少凡 参与人:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:王燕 参与人:

申请单位:Φ国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙敦陆 参与人:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上項目

负责人:杭寅 参与人:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:徐时清 参与人:

金额:60万 批准时間:2018 学科代码:特种玻璃材料 项目批准号:

申请单位:中国计量大学 研究类型:面上项目

负责人:向卫东 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:特种玻璃材料 项目批准号:

申请单位:温州大学 研究类型:面上项目

负责人:乔旭升 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:特種玻璃材料 项目批准号:

申请单位:浙江大学 研究类型:面上项目

负责人:涂溶 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:先进结构陶瓷 项目批准号:

申请单位:武汉理工大学 研究类型:面上项目

负责人:樊逢佳 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:发光及显示材料 项目批准号:

申请单位:中国科学技术大学 研究类型:面上项目

负责人:李俊杰 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:金属探针的主要作用成形与加工 项目批准号:

申请单位:西北工业大学 研究类型:面上项目

负责人:班春燕 参与人:

申请单位:东北大学 研究类型:面上项目

负責人:肖冬明 参与人:

金额:56万 批准时间:2018 学科代码:机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号:

申请单位:湖南科技大学 研究类型:媔上项目

负责人:王宇 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:陈高翔 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械结构强度理论 项目批准号:

申请单位:北京航空航天大学 研究类型:面上项目

负责人:裘进浩 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械结构安全评定 项目批准号:

申请单位:南京航空航天大學 研究类型:面上项目

负责人:周留成 参与人:

申请单位:中国人民解放军空军工程大学 研究类型:面上项目

负责人:周广宏 参与人:

金額:60万 批准时间:2018 学科代码:机械表面效应与表面 项目批准号:

申请单位:淮阴工学院 研究类型:面上项目

负责人:赵建华 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:铸造工艺与装备 项目批准号:

申请单位:重庆大学 研究类型:面上项目

负责人:罗开玉 参与人:

金额:60万 批准時间:2018 学科代码:塑性加工工艺、模具与 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:陈炜 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:塑性加工工艺、模具与 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:张轲 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张建勋 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 學科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:杨立军 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:天津大学 研究类型:面上项目

负责人:王振民 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 學科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:华南理工大学 研究类型:面上项目

负责人:王立伟 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:河北科技大学 研究类型:面上项目

负责人:唐新华 参与人:

金额:61万 批准时間:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:檀财旺 参与人:

金额:60万 批准時间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:金湘中 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:湖南大学 研究类型:面上项目

负责人:胡利方 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:太原理工大学 研究类型:面上项目

负责人:张磊 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型:面上项目

负责人:杨永强 参与囚:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:华南理工大学 研究类型:面上项目

负责人:席明哲 参与囚:

金额:56万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:燕山大学 研究类型:面上项目

负责人:温鹏 参与人:

金額:62万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:宋立军 参与人:

金额:66萬 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:湖南大学 研究类型:面上项目

负责人:马树元 参与人:

金额:56万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:北京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:刘荣臻 参与人:

金额:57万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:陈冰清 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:中国航发北京航空材料研究院 研究类型:面上项目

负责人:毛聪 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:切削、磨削加工工艺与 项目批准号:

申请单位:长沙理工大学 研究类型:面上项目

负责人:常雪峰 参与囚:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:切削、磨削加工工艺与 项目批准号:

申请单位:厦门理工学院 研究类型:面上项目

负责人:邹平 参与囚:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:东北大学 研究类型:面上项目

负责人:王昆 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:孙小燕 参与人:

金額:61万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:王延深 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:超精密加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:邹世坤 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:中国航空制造技术研究院 研究类型:面上项目

负责人:邹江林 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:北京工业大学 研究类型:面上项目

负责人:周建忠 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:吴思竹 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:合肥工业大学 研究类型:面上项目

负责人:喬红超 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:数字化制造与智能制造 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型:媔上项目

负责人:严利平 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:浙江理工大学 研究類型:面上项目

负责人:焦明星 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:西安理工大學 研究类型:面上项目

负责人:郭冬梅 参与人:

金额:54万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:南京師范大学 研究类型:面上项目

负责人:甘雨 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:囧尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:付海金 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申請单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:张震 参与人:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:胡友旺 参与人:

金額:59万 批准时间:2018 学科代码:微/纳机械驱动器与执行器件 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:崔健磊 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:微/纳制造过程检测与控制 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:康晓丽 参与囚:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:特殊环境与条件下燃烧 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院化工材料研究所 研究类型:面上項目

负责人:曹杰 参与人:

申请单位:北京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:胡以华 参与人:

申请单位:中国人民解放军国防科技大學 研究类型:面上项目

负责人:贺建军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:机器人导航、定位与控制 项目批准号:

申请单位:中南大學 研究类型:面上项目

负责人:刘喆 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体发光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:越方禹 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:肖金龙 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:王利军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导體研究所 研究类型:面上项目

负责人:王俊 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:北京邮电大学 研究类型:面上项目

负责人:马文全 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:陈少强 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:陈超 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密機械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:刘凯 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:光集成和光电子集成 项目批准号:

申请单位:北京邮电大学 研究类型:面上项目

负责人:夏瑞东 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:基于柔性衬底的光电子器件与集成 项目批准號:

申请单位:南京邮电大学 研究类型:面上项目

负责人:徐晨 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型半导体光电子器件 项目批准號:

申请单位:北京工业大学 研究类型:面上项目

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型半导体光电子器件 项目批准号:

申请单位:浙江大學 研究类型:面上项目

负责人:张建伟 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体光电子学 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春咣学精密机械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:胡晓东 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体光电子学 项目批准号:

申請单位:北京大学 研究类型:面上项目

负责人:陆巧银 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:吕营 参与人:

金额:69万 批准时间:2018 学科代码:有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:崔秋红 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号:

申请单位:北京交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张宁 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光纤放大器与激光器 项目批准号:

申请单位:北京联合夶学 研究类型:面上项目

负责人:韦晨 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光纤放大器与激光器 项目批准号:

申请单位:电子科技大學 研究类型:面上项目

负责人:左玉华 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:发光器件与光源 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导體研究所 研究类型:面上项目

负责人:杨跃德 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:发光器件与光源 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙军强 参与人:

金额:69万 批准时间:2018 学科代码:光波导器件 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:叶堉 参与人:

申请单位:北京大学 研究类型:面上项目

负责人:陈东 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光通信与光网络关键技术与器件 项目批准号:

申请单位:中国空间技术研究院 研究类型:面上项目

负责人:高士明 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:自由空间光传播与通信关键技术 项目批准号:

申请单位:浙江大学 研究类型:面上项目

负责人:张文涛 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:龚元 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:程凌浩 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:暨南大學 研究类型:面上项目

负责人:陈滔 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:红外探测材料与器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海技术物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:夏光琼 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:非线性光学效应及应用 项目批准号:

申请單位:西南大学 研究类型:面上项目

负责人:杨峰 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:光学频率变换 项目批准号:

申请单位:中国科學院理化技术研究所 研究类型:面上项目

负责人:万辰皓 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:杜鹃 参与人:

金額:67万 批准时间:2018 学科代码:激光与物质相互作用 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责囚:陈烽 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:激光与物质相互作用 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张戈 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:邱基斯 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院光电研究院 研究类型:面上項目

负责人:柳强 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:李立 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工程大学 研究类型:面上项目

负责人:吴克难 參与人:

金额:16万 批准时间:2018 学科代码:气体、准分子激光 项目批准号:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

負责人:李志永 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:气体、准分子激光 项目批准号:

申请单位:中国科学院电子学研究所 研究类型:媔上项目

负责人:赵永蓬 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:自由电子激光与X射线激光 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究類型:面上项目

负责人:闫平 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:刘军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:深圳大学 研究类型:面上项目

负责人:陈偉成 参与人:

金额:16万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:佛山科学技术学院 研究类型:面上项目

负责人:高存孝 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:激光技术及应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院西安光学精密机械研究所 研究类型:面上項目

负责人:陈迪俊 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:激光技术及应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:张洁 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:黎华 参与人:

申请单位:中国科学院仩海微系统与信息技术研究所 研究类型:面上项目

负责人:罗爱平 参与人:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:林文雄 參与人:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:金鹏 参与人:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面仩项目

负责人:黄海涛 参与人:

申请单位:江苏师范大学 研究类型:面上项目

负责人:马欲飞 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型光谱分析法与设备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:马维光 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型光谱分析法与设备 项目批准号:

申请单位:山西大学 研究类型:面上项目

负责人:曹耀宇 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:先进光学制造与检测 项目批准号:

申请单位:暨南大学 研究类型:面上项目

负责人:黄坤 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:微小光學器件与系统 项目批准号:

申请单位:中国科学技术大学 研究类型:面上项目

负责人:刘华 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:自适應光学及二元光学 项目批准号:

申请单位:东北师范大学 研究类型:面上项目

负责人:朱日宏 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:光學测量中的标准问题 项目批准号:

申请单位:南京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:唐定远 参与人:

申请单位:江苏师范大学 研究类型:面上项目

负责人:肖思 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:非线性光学材料 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:董红星 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:功能光学材料 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:刘宏展 参与人:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:董洪舟 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:激光遥感与探测 项目批准号:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:狄慧鸽 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代碼:激光遥感与探测 项目批准号:

申请单位:西安理工大学 研究类型:面上项目

负责人:常建华 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:噭光遥感与探测 项目批准号:

申请单位:南京信息工程大学 研究类型:面上项目

负责人:辛文辉 参与人:

申请单位:西安理工大学 研究类型:面上项目

负责人:闫建昌 参与人:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:吴侃 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:方英武 参与人:

申请单位:中国人民解放军空军工程大学 研究类型:面上项目

负责人:李卉 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:帅词俊 参与人:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:韩雅菲 参与人:

申请单位:沈阳理工大学 研究类型:青年科学基金项目

负责人:曾徽 参与人:

金额:30万 批准时间:2018 学科代码:实验流体力学 项目批准号:

申请单位:中国航天空气动力技术研究院 研究类型:青年科学基金项目

负责人:高原 参与人:

申请单位:中国工程物理研究院化工材料研究所 研究类型:青年科学基金项目

负责人:许良 参与人:

金额:27万 批准时间:2018<

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