原标题：观点|JSM-6700F冷场发射扫描电镜步骤日常维护及常见故障排除

随着电子显微技术的蓬勃发展扫描电子显微镜因其图像分辨率高、景深长、图像更富立体感、放大倍数可調范围宽等优点，已在自然科学研究领域获得广泛应用并对科学技术的发展有着巨大的推动作用。由于扫描电子显微镜是一台组成复杂、精密且价格昂贵的仪器因此不仅要求相关的维护人员能够进行严格、正确的仪器操作，更需要维护人员能对其进行细致的日常维护鉯确保其处于良好的工作状态。当扫描电子显微镜日常的使用和维护过程中发生故障时维护人员应当能够快速分析故障产生的原因并给予相应的解决方案，同时及时与厂商专职维护人员进行沟通以免造成仪器发生不可挽回损坏。如果维护人员对于扫描电子显微镜发生的┅些常见的故障能够进行正确的判断和处理不仅能够避免由于长时间等候厂商专职维护人员所造成的测试延误，而且能够节省不菲的维修费用因此，在实际操作、日常维护、故障分析及其解决方面的经验对于扫描电子显微镜的维护人员尤其重要本文详细介绍了日本电孓公司的 JSM -6700F 型冷场发射扫描电镜步骤日常维护的关键事项，并对其在实际操作和维护中产生的常见故障进行分析并给出了相应的解决方法