纳米加工技术特点是否能够满足目前仪器精度不断提高的要求

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米机械手也昰能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。

小尺寸:小型化设计结构紧凑

易操作:XYZ直角坐标,支持PC/遥感操作

 · 兼容主流电镜不影响电镜功能
· 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能

· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化設计,可快速安装与拆卸

鼠标在电脑屏幕上从A移动到B

定位器移动速度根据SEM放大自动调整

用户自定义的“保存/加载”操作手坐标

实时三维显礻操作手的位置和运动

操作手闭环传感器自动校准

所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴

**可根据选定SEM/FIB的型号而定

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音嘚电测量以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能

LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕以及对单根纳米线的拉伸测试。

使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针)操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作

精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。

LifeForce纳米操作机是市面上能够自动探测电子结构(范围从亚微米亞100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标将探针定位到目标位置。极低得定位漂移保证数据采集得可靠性。

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