主要配置：二次电子探测器（高位/低位）5轴马达驱动样品台，具有电子束减速功能的电子光学系统Quantax 400型 X射线能量色散谱仪(德国Bruker)。

kV；样品最大尺寸：直径100mm；能谱能量分辨率：129 eV

主要用途：块状固体、纤维、薄膜等材料的表面或断面微观形貌观察；微纳米尺度微粒、孔洞等形状的观察及尺寸分析；微区元素忣其分布测试。

仪器责任教师：杨健茂（B117室）