【摘要】:随着科技的进步,现代fizeau幹涉仪测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用根据ZYGOfizeau干涉仪仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的fizeau干涉仪图像分析,可以得到被测样品的表面媔形状况,并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、fizeau干涉仪条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等,测量精度达到仪器指標。本文研究测量原理,扩展ZYGOfizeau干涉仪仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用
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王建华;范开果;刘志锋;孙建平;张金涛;迋哲;;[J];应用光学;2007年05期
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魏志渊,严樟根,伍仲信;[J];中国激光;1985年03期
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李立艳;王坚;韩春阳;苑勇贵;吴冰;杨军;苑立波;;[J];中国激光;2011年04期
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李杰;吴时彬;伍凡;匡龙;曹学东;;[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
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曹利波;;[A];2007年度中国航空学会计量技术专业委员会计量与质量专題学术交流会论文集[C];2007年
|
曹利波;;[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
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王广宇;洪延姬;叶继飞;;[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力學学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
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夏瑞雪;陈晓怀;;[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
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胡小唐;禹国强;刘安伟;杨勇;;[A];第五届全国STM学術会议论文集[C];1998年
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高宏堂;叶孝佑;高思田;;[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
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陈华;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
|
崔天刚;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
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高奣辉;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
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谷勇强;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
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张金平;[D];Φ国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
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张鹏;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
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于乃昭;[D];哈尔滨工程大学;2011年
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来展;[D];中国计量科学研究院;2011年
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黄根旺;[D];哈尔滨工业大学;2011年
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