为什么俄歇俄歇光电子能谱谱分析的分辨率差

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-10-20 10:16 标签： 俄歇电子能谱分析
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GB/T &&表面化学分析 俄歇电子能谱和x射线光电子能谱 横向分辨率测定
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表面化学分析 俄歇电子能谱和x射线光电子能谱 横向分辨率测定
surface chemical analysis—auger electron spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy—determination of lateral resolution
推荐性标准
简体中文版、英文版
全国微束分析标准化技术委员会(sac/tc 38)
全国微束分析标准化技术委员会(sac/tc 38)
上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰
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表面化学分析 词汇(,IDT)
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语、定义、符号和缩略语 1
4 一般信息 2
5 直边法测量横向分辨率 3
6 栅格法测量横向分辨率 8
7 金岛法测量横向分辨率 10
附录A (资料性附录) 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14
附录B(资料性附录) 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16
附录C (资料性附录) 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1ΜM 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20NM,小于1ΜM 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50NM 的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
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