质量气体流量与管径的关系控制器能用在大管径气路么

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-09-09 08:24 标签： 气体质量流量控制器
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固定床质量流量控制器与背压阀出问题
质量流量控制器是七星D07-11C，反应器后的背压阀是熊川的。现在进行固定床调试时出问题了。MFC设置为最大量程300mL/min，通气后流量显示在300-301之间波动，倒是还算稳定，调节流量计前面的稳压阀和反应器后面的背压阀使得流量计前面压力为4.5MPa左右，流量计后面压力为4.0MPa左右，流量计前后压差0.5MPa左右，调好后整个固定床气路通畅，出口处有气体流出，我在出口处接了一个水瓶来看出气情况，发现出口出气越来越少，大概一个小时就不出气了，流量计后面压力表示数有了稍微升高到4.2MPa左右。不出气后，我稍微转动一下背压阀，就又开始出气了！然后就又会开始慢慢出气量减少，直到不出气。我实在不知道是那块出问题了！我怀疑可能是以下问题：
1，管路漏气，我之前检漏过，不漏气，就算漏，也可能是微漏！
2，质量流量控制器出问题了，因为我最近就是在调质量流量控制器，发现在高压下（1MPa）改变流量的设定值，比如设定为300，240,180,120mL/min等流量时，反应器出口流量没变化，而常压下还算有变化。（质量流量控制器参数：耐压10MPa，量程300mL/min）
3,背压阀可能出问题了。但是这背压阀是我两星期前刚换的。（不是新的，是以前坏了返厂修过的）
所以请各位大牛们帮我分析分析到底是哪儿出问题了！在此谢过了！:hand:
另补充一点：就是按上面说的不出气之后，我调节背压阀有时调的时候会突然出口出气很剧烈（从出口接的水瓶判断的），这时候流量显示器的显示读数会很快下降到15左右（原来是300）.然后将背压阀关死点出口气流变小，流量显示器读数会慢慢升高至300.
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